DGA講座⑩エネルギー変換科学（結晶･表面加工）

エネルギー変換科学
（結晶･表面加工）

半導体などの固体表面に微細加工を施すことにより、光学的･物理的な特性をはじめ、平坦表面ではない機能を付与することができます。本講座では、超短パルスレーザーを用いた半導体表面への微細加工技術を中心に、デバイスへの微細加工応用例についても紹介します。